無(wú)錫集成電路材料和裝備業(yè)蓄勢(shì)起航 重大項(xiàng)目增量效應(yīng)顯現(xiàn)

　　3月26日，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)運(yùn)營(yíng)中心在錫啟動(dòng)，此前一天，一場(chǎng)全國(guó)性的集成電路協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)在錫召開(kāi)，多家無(wú)錫企業(yè)受到表彰。圍繞集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，無(wú)錫加速布局，做強(qiáng)做大關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前，我市在集成電路設(shè)計(jì)、晶圓制造、封測(cè)領(lǐng)域都擁有了一到幾家上市企業(yè)，材料及裝備業(yè)雖起步較晚，但也在去年底由微導(dǎo)填補(bǔ)了空缺。“材料、裝備一直是無(wú)錫集成電路產(chǎn)業(yè)的短板，但是目前來(lái)看這一塊正在加緊補(bǔ)齊。”市工業(yè)和信息化局人士透露，2022年相關(guān)行業(yè)營(yíng)收已達(dá)到667.3億元。

　　去年，我市集成電路實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值2091.52億元，其中最為矚目的是專(zhuān)用材料及裝備等支撐產(chǎn)業(yè)，產(chǎn)值相較2021年增幅達(dá)到26.15%，在整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)中僅次于無(wú)錫的傳統(tǒng)強(qiáng)項(xiàng)晶圓制造，產(chǎn)業(yè)規(guī)模迅速成長(zhǎng)跡象明顯。

　　集成電路產(chǎn)業(yè)一直遵循“一代裝備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的模式發(fā)展，正因?yàn)槿绱耍呻娐分圃炫c檢測(cè)設(shè)備成為了產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級(jí)和發(fā)展的先導(dǎo)與核心。作為全國(guó)唯一的擁有集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈的地級(jí)市，產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)一步筑強(qiáng)在于均衡發(fā)展各個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。據(jù)了解，目前全市共有集成電路裝備和材料企業(yè)50余家。在高端裝備方面，除晶圓制造光刻機(jī)、測(cè)試機(jī)外，無(wú)錫均有企業(yè)布局，其中吉姆西半導(dǎo)體、連城凱克斯、微導(dǎo)納米、恩納基智能、艾匹克半導(dǎo)體在單晶硅生長(zhǎng)爐、薄膜沉積設(shè)備、化學(xué)機(jī)械研磨拋光設(shè)備、封測(cè)設(shè)備領(lǐng)域均排國(guó)內(nèi)前列，同時(shí)還集聚了中環(huán)領(lǐng)先、雅克科技、江化微、帝科電子、潤(rùn)瑪電子、創(chuàng)達(dá)新材等一批關(guān)鍵材料重點(diǎn)企業(yè)和項(xiàng)目。

　　“近年來(lái)落地的幾個(gè)重大項(xiàng)目的增量效應(yīng)，開(kāi)始顯現(xiàn)。”市工業(yè)和信息化局人士介紹，圍繞中環(huán)領(lǐng)先大硅片項(xiàng)目，宜興市建立了集成電路材料產(chǎn)業(yè)園，發(fā)展包括化學(xué)機(jī)械拋光材料、高純?cè)噭?、電子氣體、光刻膠、掩膜版等關(guān)鍵材料。

　　產(chǎn)業(yè)園的定位也是各有側(cè)重。發(fā)展數(shù)年的高新區(qū)集成電路裝備及材料產(chǎn)業(yè)園總投資380億元，重點(diǎn)發(fā)展新型定制化、差異化的設(shè)備和零部件，加快推進(jìn)集成電路裝備及關(guān)鍵零部件制造企業(yè)集聚。2021年，錫山區(qū)成立了集成電路裝備產(chǎn)業(yè)園，重點(diǎn)發(fā)展工藝檢測(cè)設(shè)備、組裝與封裝設(shè)備、集成電路測(cè)試設(shè)備等。2022年，高新區(qū)新港集成電路裝備零部件及材料產(chǎn)業(yè)園正式開(kāi)工，鎖定關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)引育龍頭企業(yè)。

　　圍繞集成電路產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行整體布局，我市設(shè)立了包括集成電路產(chǎn)業(yè)專(zhuān)項(xiàng)投資基金等在內(nèi)的各類(lèi)資金，發(fā)揮龍頭企業(yè)帶動(dòng)作用，建設(shè)先導(dǎo)集成電路裝備與材料產(chǎn)業(yè)園、SK海力士無(wú)錫高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園等載體平臺(tái)，通過(guò)舉辦集成電路裝備產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)接合作沙龍、組織企業(yè)參與行業(yè)博覽會(huì)等舉措，幫助裝備研發(fā)制造企業(yè)與上下游產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)建立合作協(xié)同發(fā)展。

　　記者注意到，發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)已連續(xù)多年寫(xiě)入無(wú)錫政府工作報(bào)告，今年則明確提及“做大裝備材料支撐”。相關(guān)人士表示，目前無(wú)錫集成電路高端裝備和關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)已具備一定規(guī)模，但“含金量”還有待提高。一方面，企業(yè)規(guī)模偏小，“高端裝備和關(guān)鍵材料需要持續(xù)高強(qiáng)度研發(fā)投入，如果企業(yè)規(guī)模偏小，則難以承受持續(xù)投入，不能形成良性循環(huán)。”另一方面，技術(shù)水平不高，對(duì)相關(guān)企業(yè)的帶動(dòng)作用偏弱。

　　據(jù)了解，我市集成電路高端裝備和材料主要供應(yīng)6英寸及以下晶圓產(chǎn)線，在技術(shù)要求更高的8英寸、12英寸產(chǎn)線滲透率不高。“公共的驗(yàn)證平臺(tái)缺乏也讓裝備和材料的國(guó)產(chǎn)化替代驗(yàn)證較難開(kāi)展。”相關(guān)人士認(rèn)為，打通上下游配套，形成設(shè)計(jì)、機(jī)加工、裝配、維修在內(nèi)的一體化協(xié)作方式，將有效縮短國(guó)產(chǎn)化裝備的生產(chǎn)驗(yàn)證周期。“無(wú)錫有較多制造業(yè)企業(yè)，加快設(shè)備企業(yè)進(jìn)入驗(yàn)證過(guò)程，激發(fā)代工廠與設(shè)備企業(yè)的互動(dòng)，將有效促進(jìn)設(shè)備企業(yè)在我市布局。”

　　相關(guān)人士表示，產(chǎn)業(yè)鏈布局卡位時(shí)機(jī)非常重要，目前全國(guó)晶圓廠的產(chǎn)能格局基本成形，涉足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的城市都在爭(zhēng)搶裝備、零部件和材料項(xiàng)目。“半導(dǎo)體制造設(shè)備是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中最核心的生產(chǎn)基礎(chǔ)，兼具資金密集與技術(shù)密集的特點(diǎn)，技術(shù)門(mén)檻高、資金投入大、回收周期長(zhǎng)，進(jìn)入壁壘很高，國(guó)產(chǎn)化率不足20%，從掌握核心技術(shù)到擴(kuò)大市場(chǎng)意義都十分重大。” （高飛）