新銳企業(yè)｜微導(dǎo)納米推動原子層沉積技術(shù)在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用取得新突破

　　前不久，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司創(chuàng)新研發(fā)的原子層沉積（ALD）量產(chǎn)設(shè)備發(fā)往歐洲芯片制造客戶，專用于其新型車載芯片的生產(chǎn)制造，再次實現(xiàn)國產(chǎn)高端設(shè)備出口海外，這是微導(dǎo)納米推動原子層沉積技術(shù)在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用取得的新突破。微導(dǎo)納米通過多元化布局和全球化發(fā)展，業(yè)績實現(xiàn)了飛速發(fā)展，公司2023年營業(yè)收入為16.8億元，同比增加145.39%。

　　作為一家面向全球的半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體高端微納裝備制造商，自2015年成立以來，微導(dǎo)納米專注于先進(jìn)微米級、納米級薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與應(yīng)用，形成了以原子層沉積技術(shù)為核心，CVD等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系。業(yè)務(wù)涵蓋集成電路、光伏、LED、MEMS等半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體及柔性電子等諸多領(lǐng)域，多項設(shè)備關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。公司成立后，迅速成長為國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，僅用7年時間就成功登陸科創(chuàng)板。據(jù)統(tǒng)計，公司原子層沉積產(chǎn)品已連續(xù)多年在營收規(guī)模、訂單總量和市場占有率方面位居國內(nèi)同類企業(yè)第一。

　　“微導(dǎo)納米一開始就確定了最先進(jìn)的技術(shù)路線，因為原子層沉積技術(shù)具有優(yōu)異的三維保型性、大面積均勻性、膜厚控制和低溫生長等特點，所以能在眾多的薄膜沉積技術(shù)中脫穎而出。”公司相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。隨著半導(dǎo)體設(shè)備制程越來越先進(jìn)、芯片設(shè)計結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜、線寬越來越小,對制造技術(shù)要求越來越高；原子層沉積技術(shù)基于單原子層生長的特性，決定了其十分適用于相關(guān)半導(dǎo)體器件的升級和迭代。以邏輯器件為例，在28納米這個節(jié)點，必須用到原子層沉積技術(shù)才能實現(xiàn)某些工藝環(huán)節(jié)的薄膜沉積。為此，公司緊緊抓住國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)重要發(fā)展機(jī)遇，進(jìn)行技術(shù)突破，成為國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備廠商，為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展作出了重要貢獻(xiàn)。

　　除了集成電路，微導(dǎo)納米在光伏行業(yè)同樣表現(xiàn)不俗。公司人士介紹，受制于技術(shù)壟斷，中國光伏產(chǎn)業(yè)很長一段時間都依賴于從歐美發(fā)達(dá)國家大量進(jìn)口薄膜沉積設(shè)備。為推動我國原子層沉積技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，微導(dǎo)納米攻堅克難，歷經(jīng)磨礪，率先將原子層沉積技術(shù)規(guī)?；瘧?yīng)用于光伏電池片生產(chǎn)過程，為高效晶硅太陽能電池表面提供高質(zhì)量超薄鈍化膜；該技術(shù)有效提高了電池的光電轉(zhuǎn)換效率，推動產(chǎn)能進(jìn)一步提升。目前，公司已成為提供高效電池技術(shù)與設(shè)備的領(lǐng)軍者之一，在同類型產(chǎn)品中市場占有率穩(wěn)居全球第一梯隊。

　　在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域取得突破，與微導(dǎo)納米注重人才引進(jìn)、科技創(chuàng)新和加大研發(fā)投入密不可分。據(jù)了解，公司擁有研發(fā)人員超過300人，占員工總?cè)藬?shù)近20%。公司還與復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、南京大學(xué)、芬蘭赫爾辛基大學(xué)、澳大利亞新南威爾士大學(xué)等知名院校建立了良好的合作關(guān)系，共同推進(jìn)原子層沉積技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展。公司依托技術(shù)建立了江蘇省工程研究中心、企業(yè)技術(shù)中心、工程技術(shù)研究中心等六大省級研發(fā)平臺，相關(guān)產(chǎn)品榮獲江蘇省首臺（套）重大裝備、中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)、IC創(chuàng)新獎等榮譽。   （張安宇）