半年實現(xiàn)國產(chǎn)替代，“山水”有故事

　　編者按：新質(zhì)生產(chǎn)力是經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展的“總鑰匙”，其特點是創(chuàng)新，關(guān)鍵在質(zhì)優(yōu)，本質(zhì)是先進生產(chǎn)力。近年來，在無錫打造“465”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)集群的征途中，眾多錫企錨定創(chuàng)新不松勁、轉(zhuǎn)型升級不停步，不懈探索著新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展之道。今起，本報開設(shè)“新質(zhì)生產(chǎn)力 本土新勢力”欄目，通過聚焦具有代表性的錫企，講述其向“新”而行、以“質(zhì)”致遠的生動故事，以此來折射無錫產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的強勁脈動。敬請關(guān)注！

　　“表面高低差達到納米級，也就是頭發(fā)絲直徑的十萬分之一。”在江蘇山水半導(dǎo)體科技有限公司，副總經(jīng)理張?zhí)现钢蠊杵a(chǎn)品跟記者比畫，達到如此平整度，就是用上了他們公司研發(fā)生產(chǎn)的核心關(guān)鍵材料：拋光液。更了不起的是，他們自主研發(fā)并具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，實現(xiàn)國產(chǎn)替代僅用了短短半年時間。

　　集成電路產(chǎn)業(yè)的化學(xué)機械平坦化工藝，是我國正在攻克的產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵核心技術(shù)之一。一群來自不同行業(yè)的創(chuàng)業(yè)者，為打破國外壟斷走到了一起，為保障集成電路產(chǎn)業(yè)鏈與供應(yīng)鏈安全提供有力支撐。

　　懷揣夢想，一群人的新征程

　　2020年，在宜興從事房地產(chǎn)行業(yè)的井鋒，謀求轉(zhuǎn)型發(fā)展，尋找新的投資方向。與此同時，第十四批江蘇省科技鎮(zhèn)長團團員、河北工業(yè)大學(xué)副研究員王辰偉，被派駐到宜興經(jīng)開區(qū)掛職擔(dān)任科技局副局長，也迫切地想將團隊的科研技術(shù)轉(zhuǎn)化為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)成果。一次偶然的機會，井鋒和王辰偉，和從事半導(dǎo)體銷售的張俊華，坐在一起聊起拋光液項目。當時，集成電路產(chǎn)業(yè)正是國內(nèi)關(guān)注的熱點，拋光液雖然只是集成電路制造中一個很小的環(huán)節(jié)，但在保障集成電路產(chǎn)業(yè)鏈與供應(yīng)鏈安全上很關(guān)鍵，如能做成，市場前景大。

　　打破國外壟斷，實現(xiàn)國產(chǎn)替代！懷揣著這樣的夢想，3人一拍即合，開啟自主創(chuàng)新征程。多次市場調(diào)研后，一家初創(chuàng)半導(dǎo)體公司宣告成立。面向國家重大戰(zhàn)略需求，山水半導(dǎo)體目標明確，圍繞集成電路材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局，致力于成為國際領(lǐng)先的大尺寸硅片及先進集成電路制程拋光液研發(fā)、生產(chǎn)、銷售企業(yè)。

　　資本、技術(shù)、銷售要素齊全，山水半導(dǎo)體一經(jīng)成立，便有了成熟的管理團隊。之后，更是吸引了硅片生產(chǎn)企業(yè)、多位科研人員加盟，整個團隊進一步優(yōu)化。“都有這個心，要把這件事情做好。”井鋒說。志同道合的伙伴、硬核的科研團隊，推動山水半導(dǎo)體快速成長。項目初始投資2億元，2020年10月公司成立，2021年10月實質(zhì)性啟動，2022年4月便開始試生產(chǎn)。

　　僅用半年，實現(xiàn)從“0”到“1”

　　河北工業(yè)大學(xué)是國內(nèi)最早專注于化學(xué)機械平坦化研究的高校，而王辰偉正是這一領(lǐng)域的領(lǐng)軍技術(shù)人才之一。見證了宜興集成電路產(chǎn)業(yè)的崛起以及當?shù)厝瞬怒h(huán)境的日益優(yōu)化，王辰偉堅定了扎根宜興的信心和決心。在他帶領(lǐng)下的科研團隊成績斐然，截至目前，已申請專利二十一項，其中授權(quán)發(fā)明專利八項。

　　從實驗室成果到應(yīng)用，“0”到“1”的跨越，這一步并不容易。井鋒坦言，投身科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)，與他之前的想象完全不一樣，最大的難點是，需要持續(xù)投入搞研發(fā)。拋光液雖然是配方產(chǎn)品，但是有了配方并不能解決一切問題。每個企業(yè)、每個產(chǎn)品不僅對應(yīng)的配方不同，還需保證產(chǎn)品的一致性、可控性，萬分之一的差錯都不容許。

　　宜興集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展壯大為企業(yè)驗證提供了最佳平臺。緊挨著中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體科技股份有限公司這一大客戶，是他們快速取得成功的一個重要原因。中環(huán)領(lǐng)先目前已成長為營收規(guī)模國內(nèi)第一、全球前六的半導(dǎo)體硅片制造商，從原材料供應(yīng)安全角度出發(fā)，他們也迫切需要國產(chǎn)替代材料。“5分鐘就可到一線企業(yè)驗證。”張?zhí)辖榻B，中環(huán)領(lǐng)先專門空出機器，企業(yè)上午配好液，下午就可上線驗證，這是山水半導(dǎo)體無可比擬的優(yōu)勢。

　　每天不斷提升改進，力求拿出最好的驗證效果，他們僅用半年時間就完全達到客戶的要求。目前，用于初拋、邊拋、中拋、精拋的拋光液產(chǎn)品均已研發(fā)成功，實現(xiàn)大硅片制造用拋光液產(chǎn)品全覆蓋，企業(yè)僅用兩年多時間就進入國內(nèi)同行業(yè)第一方陣。

　　大賽拿獎，受到業(yè)內(nèi)關(guān)注

　　作為一家初創(chuàng)期科技型企業(yè)，山水半導(dǎo)體真正被業(yè)內(nèi)熟知，是參加的兩次大賽——第十二屆全國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽獲優(yōu)秀獎，江蘇省第十一屆創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽獲三等獎。“路演結(jié)束，就有多家基金公司與我聯(lián)系。”回憶起全國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽決賽的情景，張?zhí)弦廊缓芘d奮。通過比賽，企業(yè)吸引了一批人才加盟，還得到基金公司的關(guān)注，這讓他們更堅定了加速實現(xiàn)由“1”到“10”、由“10”到“100”的信心。

　　去年，山水半導(dǎo)體進行A輪融資，吸引了3家基金公司注資1700萬元，今年即將進行B輪融資，注資將達到3000萬元。值得一提的是，公司估值已翻了一倍多。截至目前，企業(yè)成功引進海歸博士2人、教授5人、副教授4人，公司研發(fā)人員占比超過三分之一，推動建立宜興集成電路產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)基地，為宜興集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展提供人才支撐和技術(shù)服務(wù)。王辰偉也成為無錫市第四批“人才特派員”。

　　目前，山水半導(dǎo)體自主研發(fā)的粗拋液、邊拋液，已在全國硅片出片量排名前二十二的大廠商中實現(xiàn)送樣、驗證十六家，其中對六家硅片生產(chǎn)企業(yè)已實現(xiàn)批量供應(yīng)，特別是對頭部企業(yè)中環(huán)領(lǐng)先、西安奕斯偉實現(xiàn)量產(chǎn)供應(yīng)，搶占了市場制高點。目前，公司正計劃進軍集成電路先進制程第二、第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域。同時，在延長產(chǎn)業(yè)鏈、打造原料供應(yīng)安全渠道及布局海外市場等方向進行規(guī)劃部署，力爭早日成為國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進的集成電路電子專用材料研制生產(chǎn)龍頭企業(yè)。（胡志杰、蔣夢蝶）